2019年8月30日，中南创投、清源资本与苏州源卓光电投资签约仪式在苏州举行。源卓光电此次融资额1.2亿元，股权融资由中南创投基金领投，清源资本跟投。

中南创投基金（中南弘远）始创于2008年3月，主要投资于中国经济中处于快速成长、扩张期阶段或Pre-IPO阶段的优秀潜力企业，重点投资领域为医疗健康、消费升级、高端装备、节能环保等行业。

中南弘远连接投资人、企业家、基金管理团队，以投资和服务推动被投企业价值成长，与投资人、企业家、管理团队共同分享企业成长价值，不吝绵薄之力，以微观角度推动中国经济结构持续改善优化，以阳光创富方式，实现投资人、企业家、管理人的多方共赢和社会进步。

清源资本专注于高成长、科技类企业的股权投资。管理团队已投资项目包括广义IT、清洁技术、先进制造、医疗健康等领域多家公司。在已投资的项目中，有14家公司成功上市。此次投资是清源资本继上轮投资后的继续增资。　

源卓光电于2016年成立，以“微纳加工改变人类生活”为使命，致力于研发、生产各类数字光学（Digital-Step-Scan,简称DiSS）设备及关联部件、装置。公司主要从事高端光刻设备的研发及生产，可广泛应用于半导体掩膜制造、IC封装、PCB制造、TFT、FPD等领域。技术上在成功引进和消化吸收国外先进的LDI技术的基础上，经过不到三年的时间，即通过自主研发和集成创新等方式，完全掌握并拥有生产激光直接成像整套核心技术和装备集成能力，实现了所有关键零部件本土化系统工程。

源卓光电总经理张雷表示，公司将在激光直写曝光机整机、自动化及软件工程、高精密光学设计及制造、高功率光纤激光器（UV）、高精密运动平台五个方面进行重点开发或升级，整合国内外一流团队、高校、研究所等优质资源，大力汇聚行业精英人才，通力协作开发优势产品，竭力提高经营管理水平，努力增强企业核心竞争力，实现技术突破与创新，打破国外垄断，树立自主品牌，推动我国集成电路光刻技术质的飞跃。

本次合作协议的签订，旨在进一步密切双方合作关系，在整体布局、市场协同、资本运作等各方面进行全方位合作。对源卓光电而言，得到此轮融资是市场对源卓光电的认可，源卓光电的最终目标是让每一位投资者和客户满意。本轮融资将用于产品升级、完善风控体系、市场推广、人才建设等方面，致力于商业体系的完善。