产品优势
高解析光学镜头提升线路品质
干膜上实现高解析6/6μm
产品优势
精密导轨平台实现±5um对准精度
进阶气浮平台技术，精度提升至±3.5μm
产品优势
自动光学聚焦集成技术
克服板面厚度不均
产品优势
自主镜像双台面交替对准曝光技术
AF测量和分区对准开启产能不掉速
| 产品特色 | 高精度镜像气浮平台 |
| 最大基板尺寸 | 630mm x 730mm |
| 最小基板尺寸 | 300mm X300mm |
| 基板厚度 | 0.05mm~3mm |
| 工艺解析L/S | 6µm/6µm |
| 线宽精度 | ±10% |
| 景深 | ±200µm（带AF模组） |
| 层间对位精准度 | 7µm |
| 外层对位准精度 | ±3.5µm |
| 曝光时间(90mj/cm²每片四点对位，不含上下板） | 42秒／片 ＠623mmX610mm |
| 生产效率(90mj/cm²每片四点对位） | 1.4片／分钟 ＠623mmX610mm |
| 光源功率 | 6W |
| 单机台面数量 | 左右交互气浮双台面 |
| 内层线路模组 | 选配 |
| 单机设备重量 | 16000kg（含自动线） |
| 单机外形尺寸 | n/a |
| 自动线外形尺寸 | 6620mm X3220mm X2400mm （不含收放板机） |
| 工作高度（输送高度） | 1000±20mm |
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