产品优势
支持兼容不同尺寸的电池片对位曝光
如:158/166/182/210整片及半片
产品优势
超高精度
线宽解析3um/3um
产品优势
支持有Mark对位及寻边对位
产品优势
R&D利器
助力挑战世界纪录
产品优势
支持兼容不同尺寸的电池片对位曝光
如:158/166/182/210整片及半片
产品优势
超高精度
线宽解析3um/3um
产品优势
支持有Mark对位及寻边对位
产品优势
R&D利器
助力挑战世界纪录
| 产品特色 | 单机全自动，分割曝光 |
| 最大基板尺寸 | 220mmx220mm |
| 最小基板尺寸 | 156mmx156mm（含半片） |
| 基板厚度 | 0-1mm |
| 极限解析（L/S） | 3µm/3µm |
| 线宽精度 | ±0.6µm |
| 景深 | ±15µm |
| 对位精准度 | 寻边对位±40µm，Mark点对位±3µm |
| 生产效率 | 45pcs/h&70mj/cm²(210mmx105mm) |
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