产品优势
高分辨率3μm/3μm(L/S)
Die level畸变和焦面实时补偿
套刻精度1μm
灵活版图设计无掩膜尺寸限制
产品型号
DPS-03
最大基板尺寸
300mm×300mm(12"×12")
解析
64478dpi
解析度
±10%
焦深
±5μm
对位精度
±3μm@300mm×300mm
产能
400WPH@8寸Wafer&40mm/s